常用的非接触式的厚度测量仪有：X射线测厚仪、β射线测厚仪、近红外线、激光测厚仪等。对于β射线测厚原理是怎么养的，下面跟大家介绍一下。
      β射线测厚装置是目前世界上应用最普遍的一种在线测量装置，它利用Kr85或Pm放射出的低能量β射线穿过薄膜时，射线部分被制品吸收、部分被反射的特性原理对薄膜进行测量。被测量材料单位面积重量除以被测量材料的密度，就可计算出测量材料的厚度。
      一般测量头由放射源盒、电离室、高压电源、微电源放大器及空气温度补偿电路等组成。
      a．放射源盒 为放置放射源的容器。其材质为铅，在放射源盒上方有一电动或气动闸门以控制放射源放出β射线。在停机时，闸门能自动关闭，以保证安全。
      b．电离室 穿过薄膜的β粒子进入电离室使其中气体电离产生正负离子。在负高压的电场作用下，正离子向负高压极运动，负离子向正高压极运动，在外电路作用下产生微电流。此微电流非常小只有10-10~10-8A。这就要求绝缘端子的电阻很高，达1018Ω。为此，可采用PTFE材料。电离室内一般充有高于周围大气压的高纯度N2气体。
      c．高压电源 电离室要求要有450~700V的高压电源，并要求电压值稳定。
      d．微电流前置放大器 实质上是一个高输入阻抗的电源电压变换器，输入阻抗大于1012Ω。反馈电阻为高电阻。一般为了保持其电阻值稳定，可将其置于恒温槽中。
      e．温度补偿电路 β射线在到达电离室之前，除了穿透薄膜还要穿透空气。而空气额外年度变化时，空气的密度也随之变化。在0℃和760mmHg柱时，空气的密度是0.00129g/L。而温度每升高1℃，体积大约增加其0℃时的1/273，即空气的密度减小1/273。为了克服温度变化带来的误差，装有温度补偿电路，对气隙的温度进行测量，温度传感器一般采用AD590。